真空镀膜机的真空室分为上下两部分,下半部分分为左右两部分。蒸发源位于下部的左右两侧。将目标材料放置在蒸发源上。当蒸发源启动时,目标材料通过电阻加热蒸发成膜。另外,在产品不成膜的另一侧放置辉光放电发生器,产生放电气体,使产品不会起皱。
真空镀膜机的保养很重要,主要有这三项:
1、 应每200道镀膜工序清洁一次工作间。
方法是用氢氧化钠饱和溶液反复擦洗真空室壁(注意人体皮肤不能直接接触,以免灼伤)。目的是使镀在膜上的铝与NaOH发生反应,反应后膜脱落,释放氢气。然后用清水清洗真空室,用沾有汽油的布清洗精抽阀内的污物。
2、 扩散泵连续使用6个月以上,泵速明显减慢,或操作不当。将其灌入大气,取下连接水管,取下电炉板,拧出一次喷嘴,用汽油清洗泵室和泵箱,然后用掺水的洗衣粉清洗,再用清水清洗。待水蒸发后,安装泵箱,加入新的扩散泵油,将扩散泵回油安装到机器上,连接水管,安装电炉,然后重新启动机器。重启前注意检漏。
方法是启动检修泵,关上门,几分钟后,观察扩散泵真空度是否达到6x10pa,否则要进行检漏。检查接头是否有密封胶圈,或密封圈是否压坏。加热前排除漏气隐患,否则扩散泵油会烧坏油环,无法进入工作状态。
3、 粗油泵(滑阀泵、旋片泵)连续工作一个月(雨季为半个月)时,需更换油。
方法是拧上打开的油螺栓,排干旧油,然后启动泵几秒钟,使泵内的旧油*排出。拧上机油螺栓并向机油油位添加新机油(机油观察镜观察)。连续使用半年以上的,换油时打开油盖,用布擦净箱内污垢。