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一起来了解下镀膜仪的特性

更新时间:2020-01-15      点击次数:860
  什么是镀膜?在阳极与阴极之间使用合适的气体(常用的是氩气)和电压,当出现辉光放电时,阴极材料在气体离子的轰击下将侵蚀目标材料,其结果是溅射出来的原子(阴极材料)将在样本(通常样本固定于阳极上)表面形成一层薄膜,均匀分布在样本的表面,这个过程就叫镀膜。
  镀膜仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,采用隔膜泵和涡轮分子泵,无油真空系统,真空度可达2×10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器,可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制,自动完成抽真空,镀膜,放气等全过程,一键操作,采用触摸屏控制,简单方便,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
  镀膜仪的主要特性:
  1、自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚和较好的导电喷镀效果。
  2、通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。
  3、操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
  4、在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程,可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,
  5、通过使用高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
  6、可用高分辨膜厚控制仪(选件)手动停止喷镀过程。
  7、数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和较好的镀膜效果。
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