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> 德国徕卡金相显微镜DM12000M
产品名称:
德国徕卡金相显微镜DM12000M
产品型号:
用于12"精密的观察和复检系统的德国徕卡金相显微镜DM12000M 全新的光学设计,可以提供宏观模式快速初检,以及倾斜紫外光路功能(OUV, 倾斜紫外观察模式) ,不但提升了分辨率还提高了检查 12 英寸 (300 毫米 ) 硅片的产能 。 LED 照明技术 一体化设计并整合在显微镜上. 低热辐射和机身内一体化技术确保了理想的机身外空气流动状态。
详细内容
能够避免操作失误情况的出现
研究级材料显微镜,适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等样品观察分析,多种安全设计,保护晶圆,镜头及观察者
模块化设计,可实现透、反射观察
复消色差光路,整体光路支持
25mm
视野直径
6
孔位电动物镜转盘,配接直径
32mm
长工作距离物镜,物镜转盘带编码,可在不同倍数的物镜下自动加载相应倍数的比例尺
12 X 12
大样品台,可实现
12
寸晶圆的直接观察
内置手动
/
电动调焦系统
独有的
0.7X
宏观物镜,具有晶圆检查功能
可提供全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、斜照明等观察方式
机身内置
LED
透、反射照明光源,智能光强变化的控制照明方式
可选配
UV
光源,提高分辨率至亚微米结构,
UV
由大功率的
LED
产生,具有
UV
和
OUV
功能
可自动记忆不同物镜与观察方式下的光强,光阑及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速
光强,光阑,观察方式和聚光镜调节除了按键控制外,还可由计算机控制
可连接晶圆搬送机进行连续工作
可配接摄像头观察和采集图像,并提供专业分析软件
可配接高温热台,荧光光源,阴极发光仪,光度计等
适用于所有观察方法的
LED
照明系统,
LED
不会产生热量,以此保护样本。色温稳定,确保得出真实的可再现分析结果
利用
0.7X
的全景物镜,能够获得对样本表面的快速总览
高分辨率暗场
(HDF)
,为您呈现更多细节
UV
和
OUV
观察方式进一步提高了横向分辨率和纵向分辨能力
软件强大的专业分析功能,包括晶粒度分析、相分析、铸铁分析、脱碳分析、夹杂物分析和清洁度分析
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