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德国徕卡金相显微镜DM12000M

德国徕卡金相显微镜DM12000M

简要描述:用于12"精密的观察和复检系统的德国徕卡金相显微镜DM12000M 全新的光学设计,可以提供宏观模式快速初检,以及倾斜紫外光路功能(OUV, 倾斜紫外观察模式) ,不但提升了分辨率还提高了检查 12 英寸 (300 毫米 ) 硅片的产能 。 LED 照明技术 一体化设计并整合在显微镜上. 低热辐射和机身内一体化技术确保了理想的机身外空气流动状态。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-02-02
  • 访  问  量:3218

详细介绍

品牌Leica/徕卡价格区间30万-50万
产地类别进口应用领域地矿,冶金,综合
应用方向12寸晶圆

德国徕卡金相显微镜DM12000M 能够避免操作失误情况的出现

研究级材料显微镜,适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等样品观察分析,多种安全设计,保护晶圆,镜头及观察者

模块化设计,可实现透、反射观察

复消色差光路,整体光路支持25mm视野直径

6孔位电动物镜转盘,配接直径32mm长工作距离物镜,物镜转盘带编码,可在不同倍数的物镜下自动加载相应倍数的比例尺

12 X 12大样品台,可实现12寸晶圆的直接观察


德国徕卡金相显微镜DM12000M内置手动/电动调焦系统

*的0.7X宏观物镜,具有晶圆检查功能

可提供全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、斜照明等观察方式

机身内置LED透、反射照明光源,智能光强变化的控制照明方式

可选配UV光源,提高分辨率至亚微米结构,UV由大功率的LED产生,具有UV和OUV功能

可自动记忆不同物镜与观察方式下的光强,光阑及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速

光强,光阑,观察方式和聚光镜调节除了按键控制外,还可由计算机控制

可连接晶圆搬送机进行连续工作

可配接摄像头观察和采集图像,并提供专业分析软件

可配接高温热台,荧光光源,阴极发光仪,光度计等


适用于所有观察方法的 LED 照明系统,LED 不会产生热量,以此保护样本。色温稳定,确保得出真实的可再现分析结果

利用 0.7X 的全景物镜,能够获得对样本表面的快速总览

高分辨率暗场 (HDF),为您呈现更多细节

UV和OUV观察方式进一步提高了横向分辨率和纵向分辨能力

软件强大的专业分析功能,包括晶粒度分析、相分析、铸铁分析、脱碳分析、夹杂物分析和清洁度分析





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