
在体视显微镜观察中,照明并不仅仅决定样品“够不够亮",更直接影响表面纹理、裂纹、孔洞、轮廓和内部结构能否被准确识别。其本身照明的方式、角度等不同参数产生的不同的照明方式会在同一样品下均获得不同的成像效果。
针对不同类型的样品,徕卡提供了多种具有针对性的照明方案:
环形灯照明 RL
可在大视野下提供明亮、均匀的光线,适合常规观察;搭配匀光器和起偏镜组后,还能减少金属等反光样品表面不需要的眩光与亮点。环形灯可全开,或者开一部分区域,对于相同位置样品均可获得不同形态的效果,如图所示。



环形灯区域全开的硬币效果



环形灯区域部分开的硬币效果,可明显发现表面高度不同
环形灯+偏光
额外的偏光模块可以消除样品表面的反光现象,如图所示。







增加偏光片后,电路板表面部分反光区域有显著改善
同轴照明 CXI
对于晶圆、光滑表面以及精细隐裂纹, 将光线经由光学系统导入并由样品表面反射,有助于呈现细微缺陷。适用于检查精细隐裂纹和光滑和反光样品的表面。



左侧为使用同轴光照明,右侧使用环形光照明,
样品为晶圆。同轴光照明可观测到更多表面精细裂纹缺陷。
近距离垂直照明(NVI)
面对凹口、深孔或具有一定深度的结构,近距离垂直照明NVI能够提供无阴影照明,减少结构遮挡造成的观察盲区。



左侧为使用近垂直光照明,右侧使用环形光照明,
样品为手掌菌株。近垂直光照明可观测到更深处细节及无阴影图像。
看得更亮,并不等于看得更清楚
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