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徕卡工业课堂 | 紫外成像应用分享 发布时间:2026-01-30
紫外的应用点紫外成像可以获得比可见光成像更高的分辨率,能够量测更小的尺寸及分辨更小的缺陷。广泛应用于晶圆和掩膜版关键尺寸(CD)测量及缺陷分析。(基于瑞利公式对比,基于紫外光和可见光波段相比,基于相同0.9NA物镜对比)什么是关键尺寸晶圆/掩膜版的CD(关键尺寸),是芯⽚微结构中...
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    晶圆表面光刻胶残留与有机污染物的荧光显微可视化检测
    1.技术背景与问题定义随着集成电路与半导体器件持续向更高集成度与更小特征尺寸(在晶圆表面积累的风险同步上升。这类残留物会对后续工艺过程、成品良率以及电子器件的长期性能与可靠性产生直接影响。在集成电路制造流程中,光刻胶用于对晶圆进行图案化处理...
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    冷冻电镜制样常见失效机制与工艺规避路径
    摘要冷冻电镜(cryo-electronmicroscopy,cryoEM)已成为结构生物学、细胞生物学及病毒学研究中的关键技术工具。但在实际应用中,大量样品失败并非源于成像环节,而是发生在冷冻制样阶段。本文基于典型实验实践,总结冷冻电镜制...
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    5-7
    显微课堂 | 晶圆表面光刻胶残留与有机污染物可视化检测
    荧光显微镜用于检测晶圆和半导体的质量控制、故障分析和研发&D如何造福电子行业人们对速度更快的电子设备(智能手机、电脑、平板电脑、显示器等)的需求日益增长,这促使集成电路芯片和半导体元件的图案化尺寸不断缩小到10纳米以下[1-3]。为了实现更...
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    显微课堂 | 荧光入门介绍
    荧光是GeorgeGabrielStokes于1852年报道的一种现象。他观察到萤石在紫外线照射后开始发光。荧光是光致发光的一种形式,是指一种材料被光照射后会发射出光子。发射光的波长比激发光更长。这种效应又称为斯托克斯位移。以荧光为工具在显...
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    5-7
    冷冻电镜制样的7个致命误区,你中了几个?
    为什么你的冷冻样品总是“见光死”?您是否遇到过:花了一周时间准备的蛋白或细胞模型,冷冻制样后镜下观察——“全是冰晶,结构全无”。同样的protocol,隔壁课题组做出来的样品玻璃态好,你的却总是“结晶、开裂、变形“。冷冻电镜明明是"结构生物...
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    体视显微镜DVM6:原理、发展与应用概览
    在传统体视显微镜的基础上,数字技术的融合正重新定义显微观察的方式。徕卡DVM6数码体视显微镜就是这一变革的代表作。它集成了高性能光学、大尺寸图像传感器、电动变倍与聚焦、以及直观的操作软件,成为数字时代全能的显微“侦察兵”。徕卡DVM6的最大...
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